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我国化学气相沉积(CVD)金刚石研究和产业化的过去、现在和未来

2022-11-29 17:26 收藏 邀请

金刚石作为一种多功能超极限材料,具有优异的电学、光学、热学、力学、声学、电化学性能,在众多高新技术领域具有极佳的应用前景。尤其是化学气相沉积(CVD)金刚石膜的出现,为金刚石在诸多高新技术领域的应用创造了 ...

金刚石作为一种多功能超极限材料,具有优异的电学、光学、热学、力学、声学、电化学性能,在众多高新技术领域具有极佳的应用前景。尤其是化学气相沉积(CVD)金刚石膜的出现,为金刚石在诸多高新技术领域的应用创造了可能性,因此在20世纪80年代早期引发了席卷全球的“金刚石热”。
北京科技大学的吕反修教授在本综述中介绍了我国CVD金刚石研究的历史、现状和发展趋势,尤其是产业化进程。1987年初我国“863计划”正式启动,CVD金刚石膜研究从一开始就得到“863计划”和国家自然科学基金的持续资助,在“八五”和“九五”期间曾设立重大关键技术项目。尽管“十五”期间,CVD金刚石膜研究经历了“最寒冷的冬天”,“863计划”不再单列金刚石膜专题,国内CVD金刚石膜研究也并未停止,金刚石膜产业化的势头同样继续加强。终于在“十一五”期间,CVD金刚石膜产业在国内出现并初步站稳了脚跟。“十二五”期间,航空航天、电子等部门都相继提出对金刚石膜的应用需求,CVD金刚石膜研究和应用继续回暖,并逐步发展壮大。 

本文对我国CVD金刚石膜研究进行了全面深入的回顾,还详细介绍了金刚石膜的机械(摩擦)、热学、光学、电子和声学应用现状和发展前景。实验室培育金刚石的成功是中国CVD金刚石薄膜研发和产业化中最重要的成就。

相关的成果以“Past, present, and the future of the research and commercialization of CVD diamond in China”为题,发表在Functional Diamond 杂志上。    

引用格式:F. X. Lu (2022) Past, present, and the future of the research and commercialization of CVD diamond in China, Functional Diamond, 2:1, 119-141, DOI: 10.1080/26941112.2022.2144769              


www.tandfonline.com/tfdi

(20212023



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通信作
吕反修

推荐语:本文全面详细介绍了我国CVD金刚石研究和产业化的历史、现状和发展趋势。



通信作者

吕反修,北京科技大学材料科学与工程学院教授,1984年毕业于英国纽卡斯尔大学冶金及工程材料系,获博士学位。第一、第二和第三届国家“863计划”新材料领域功能材料专家组办公室主任。曾任中国热处理学会副理事长、中国材料研究学会理事,Diamond and Related Material、《材料热处理学报》等期刊编委。主要研究方向为大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及其在军事和民用光学领域的应用,CVD金刚石膜涂层硬质合金工具,纳米金刚石膜及其高技术应用等。


来源: Functional Diamond


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